Тема номера: Специальные газы

Тема статьи: Чистота залог успеха!

Основным источником загрязнений при создании тонкопленочных структур является рабочий газ.

  При транспортировке газа от источника до входа в рабочую камеру технологического оборудования газ соприкасается с большим количеством поверхностей, общая площадь которых нередко превышает десятки квадратных метров. При этом имеющиеся загрязнения могут переноситься с этих поверхностей в рабочий объем. Таким образом, газовая система может активно воздействовать на уровень чистоты транспортируемого газа.

  Если Вы работаете с особо чистыми веществами и специальными газами для микроэлектроники, то Вы всегда можете обратиться к специалистам компании ООО «Мониторинг Вентиль и Фитинг» (MV&F) за помощью или консультацией.