Сосуды для хранения и транспортировки (баблеры)sas
Сосуды пробоотборные с внутренней электрополировкой и сульфинертным покрытием на 500 мл и 1000 мл с мембранными вентилями.
Сосуд пробоотборный из нержавеющей стали для тетрахлорида кремния. Объем 50л, рабочее давление 10 бар, мембранные вентили, электрохимическая полировка внутренней поверхности.
Сосуды пробоотборные 500мл для триметилалюминия с двумя мембранными вентилями, загрузочным портом и ситом. PN 5 бар, материал нержавеющая сталь, электрополировка внутренней поверхности.
Двухгорловые сосуды из нержавеющей стали для винилхлорида. Объем 10л и 1л, рабочее давление 35 бар, мембранные вентили.
Сосуд 10 л для винилхлорида, рабочее давление 35 бар, электрохимическая полировка поверхостей.
Опции для заказа
| Модель | Объем, мл | Давление, бар | Добавить в корзину | ||
|---|---|---|---|---|---|
| Без ЭХП | С ЭХП | ||||
| С одним вентилем | |||||
| СН-1000-100-1хМВ | 1000 | 100 | 167 360 | 234555 | |
| СН-5000-100-1хМВ | 5000 | 100 | 183 340 | 260540 | |
| СН-10000-100-1хМВ | 10000 | 100 | 197 635 | 267860 | |
| СН-12000-100-1хМВ | 12000 | 100 | 211 260 | 291240 | |
| СН-20000-100-1хМВ | 20000 | 100 | 253 560 | 363060 | |
| С двумя вентилями | |||||
| СН-100-10-2хМВ | 100 | 10 | 142 970 | 207725 | |
| СН-1000-10-2хМВ | 1000 | 10 | 151 380 | 233798 | |
| СН-10000-10-2хМВ | 10000 | 10 | 189 225 | 292247 | |
| СН-1000-35-2хМВ | 1000 | 35 | 209 409 | 285015 | |
| СН-5000-35-2хМВ | 5000 | 35 | 225 388 | 319412 | |
| СН-10000-35-2хМВ | 10000 | 35 | 239 685 | 335139 | |
| СН-12000-35-2хМВ | 12000 | 35 | 253 309 | 358518 | |
| СН-20000-35-2хМВ | 20000 | 35 | 295 611 | 405110 | |
Обечайка для изготовления сосуда – контейнера для хранения, транспортировки и применения прекурсоров сверхвысокой чистоты, применяемых в микроэлектронной промышленности.
Для обеспечения высокого качества продукции эпитаксии важно обеспечить чистоту всех применяемых в технологии компонентов.
Контейнеры для прекурсоров – баблеры всегда следует изготавливать с высочайшими требованиями к чистоте внутренних поверхностей. После электрохимического полирования (ЭХП) удается достичь шероховатости поверхностей на уровне Ra 0.05. Это означает, что среднее отклонение высоты неровностей от номинальной поверхности не превышает 0.05 микрона.
Мы располагаем всеми необходимыми приборами для контроля шероховатости поверхностей на всех этапах производства заготовок и деталей баблеров, поэтому нам удается достичь показателей чистоты поверхностей контейнеров, необходимых для производства компонентов микроэлектроники высочайшего качества.